青岛福润德微电子设备有限公司

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石英软领,青岛厂家源头直发,支持定制

2024-09-27 10:00:01  86次浏览 次浏览
价 格:面议

Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往用保温棉存在的两大问题:

一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,

二是手动堵塞保温棉不均匀,影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不硬化,不氧化,不变形,防震、耐腐蚀。

技术指标:

保温材料:进口石英纤维棉

产品尺寸:根据客户扩散炉或PECVD设备炉体口径定制

使用温度:≤1287℃

线性收缩:≤0.1%

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