ITO靶材，氧化铟锡（Indium Tin Oxide），一种重要的透明导电材料。在薄膜制备领域，ITO靶材作为一种基本的原材料，被广泛应用于电子和光电子设备中。它能在保持高透明度的同时，提供良好的电导性，这使得ITO成为制备透明导电薄膜的理想选择。
成分解析与化学构成
ITO靶材是由铟（In）和锡（Sn）两种元素在氧化环境下形成的化合物。化学公式为In2O3：SnO2，通常情况，铟和锡的比例在重量上大约为 90:10。这种特定的化学组合确保了材料的高透明度，的电导性。铟的主要作用是提供高电导性，锡的加入用于增强整个材料的化学稳定性和机械硬度。
物理与化学特性
光学透明性：ITO显示出高度的透明性，尤其在可见光波段，这使其在液晶显示器和触摸屏等应用中尤为关键。
电导率：ITO的电导率是其另一项显著特性，这主要归因于铟锡氧化物的电子结构，使其成为理想的导电材料，特别是在需要透明电极的应用中。
热稳定性：在高温下，ITO能够保持其化学和物理性质的稳定，这对于在高温下操作的电子设备至关重要。
机械硬度：尽管ITO具有一定的脆性，但其机械硬度仍足以满足大多数电子应用的要求。