无尘室控管之项目

1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

2. 能防止微尘粒子之产生。

3. 温度和湿度之控制。

4. 压力之调节。

5. 有害气体之排除。

6. 结构物与隔间之气密性。

7. 静电之防制。

8. 电磁干扰预防。

9. 因素之考虑。

10. 节能之考量。

空气由空调箱经风管与超净间内之空气过滤器(HEPA)进入超净间，并由超净间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于超净间等级1,000-100,000级。

洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

洁净工作棚：为在乱流式之超净间空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。