国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多,主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出,浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟,该方法的缺点是铟锡分离率低,氧化锡渣等中含铟约1%~2%,铟直收率﹤97%。
为了进一步极限化的提高铟锡的收率,进一步简化工序,提升生产效率,减少环境污染,此次在基于氯化锡具有相对较低沸点的特性的基础上,设计了“盐酸浸出—蒸馏分离铟锡—锌或铝置换铟—蒸出锡提纯制五水氯化锡/蒸出酸回用”的技术方案,并进行了系统的试验验证。
2017年6月,工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版)》,提出了平板显示用ITO靶材、平板显示用高纯钼靶材等重点新材料的应用领域。伴随ITO技术和产能突破瓶颈,国产ITO靶材凭借成本和性价比优势将逐步占领市场。
全球铟资源的分布也极不平衡,我国是世界上铟资源丰富的国家,已探明储量占比达72.7%。同时,受进口靶材免税政策即将到期的影响,未来进口靶材的成本有可能会大大增加,从而使国产ITO靶材供应成本优势更加显著。