高新技术企业专项审计，是依据高新技术企业认定办法相关规定，对近三年的研发费用支出情况及高新技术产品（服务）收入情况进行审计，出具审计专项报告。该报告主要用于企业申办高新技术企业或高新技术企业复审使用。提供给科委、财政、税务、工商单位及管理层和董事会等相关。

在财务报表审计中，一般不专门提及与高新技术研究开发费用支出相关的内部控制。《专项审计指引》强调研究开发费用控制通常属于申报企业费用和成本控制的重要组成部分，要求注册会计师在对研究开发费用控制进行了解时，需要考虑那些影响研究开发费用完整性、发生、准确性和分类的控制点。同时，《专项审计指引》给出了研究开发业务流程通常可能包括的主要活动，如立项和预算管理、人员管理、材料和设备管理以及结项管理等。

1.申请企业自主选择第三方审计机构委托业务(基于对审计机构业务资质、服务团队、客户口碑的充分了解)；

2.审计代理公司与申请公司进行初步沟通了解，确定企业的审计目的和范围，再由审计公司对申请企业的审计风险进行专业评估；

3.评估通过后，双方签订正式的审计服务协议，明确审计费用、双方的权利和责任，并进行初步数据交接；

4.审计代理公司应当成立专门的项目组，向受委托企业发放高新技术企业专项审计所需材料清单；

5.申请人应根据资料清单准备相关审核材料；

6.审计代理公司审计工作组根据企业数据制定高新技术企业具体审计工作方案，为审计工作的实施打下良好基础；

7.与被审计企业确定现场审计时间并出具审计通知书；

8.审核员进入现场，审核企业提供的审核资料，对期间发现的审核问题进行详细记录，形成审核工作底稿；

9.审核审计工作底稿，并在此基础上形成初步意见；

10.与被审计企业交换审计意见；

11.在双方一致同意的基础上，为高新技术企业出具专项审计报告。

高新审计依据高新技术企业认定办法相关规定，企业申请高新认定，需要对近三年的财务状况、研发费用支出情况及高新技术产品(服务)收入情况进行审计，出具审计专项报告和年度审计报告。

会计师会结合企业情况，给出一份准备材料的清单。主要是企业的资产负债表、损益表、总账、明细账、科目余额表(到末级科目)、财务凭证、公司的执照、章程等等。