常用的加工方法有金刚石车削、金刚石镗削、珩磨、研磨、超精加工、砂带磨削和镜面磨削等。金刚石车削和金刚石镗削都是利用聚晶金刚石刀具进行切削，珩磨是采用镶嵌在珩磨头上的油石（又称珩磨条）主要对孔进行精整加工。研磨是利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工。

超精加工是采用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行精整加工。砂带磨削是采用高速运转的环形砂带加工工件表面的磨削。镜面磨削是达到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如镜面，可以清晰成像。精密加工在制造业中处于十分重要的地位，常用于精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨和精密轴承等关键零件的加工。

超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。20 世纪 50 年代至 80 年代为技术开创期。20 世纪 50 年代末，出于航天、国防等技术发展的需要，美国率先发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削(Single point diamond turning，SPDT)技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。

科技的发展对精密加工和超精密加工技术也提出了更高的要求。从大到天体望远镜的透镜，小到大规模集成电路线宽μm要求的微细工程和微机械的微纳米尺寸零件，不论体积大小，其尺寸精度都趋近于纳米;零件形状也日益复杂化，各种非球面已是当前非常典型的几何形状。微机械技术为超精密制造技术引来一种崭新的态势?它的微细程度使传统的制造技术面临一种新的挑战，促进了各种产品技术性能的提高，发展过程呈现出螺旋式循环发展，直接对科学技术的进步和人类文明作出贡献。对产品高质量、小型化、高可靠性和高性能的追求，使超精密加工技术得以迅速发展，现已成为现代制造工业的重要组成部分。