二氯二氢硅在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃,44℃以上能自燃,燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成氯化氢、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、醚和四氯化碳。与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。电子气、外延、化学气相淀积。分子量: 101.010熔点: -122.0沸点(101.325kPa): 8.2℃液体密度(0℃,101.325kPa):1220kg/m气体密度(25℃,101.325kPa):4.168kg/相对密度(气体,空气=1,25℃101.325kPa):3.52比容(21.1℃,101.325kPa): 0.2391m³/kg气液容积比(15℃,100kPa) 290L/L临界温度: 176.0临界压力:4676kPa临界密度:463kg/m3气(8.4℃,101.325kPa):249.kJ/kg比热容(25℃,气体):Cp=611.27J/(kg·K)蒸气压 (-20℃):31.4kPa(0℃): 81.1kPa(20℃):167.2kPa粘度(气体20101.325kPa):0.0163mPa·s表面张力(20℃):11.9mN/m空气中爆炸极(20℃,101.325kPa): 4.1%~98.8%(体积)自燃点::111°F(44℃)