金属四探头电阻率方阻测试仪 - HS-MPRT-4

用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。

本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率（电压表）的同时，另一块数字表（电流表以千分之二的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，在探头压触样品后再接通恒流源可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护薄膜。仪器配置了本公司的专利产品：小游移四探针头，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。

金属四探头电阻率方阻测试仪 - 产品特点

采用金属探头，游移率小，稳定性高。

适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业

适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业

适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业

具有抗强磁场和抗高频设备的性能

金属四探头电阻率方阻测试仪 - 技术指标

电阻率：0.001～1999Ω·cm

方块电阻：0.01～19000Ω/口

直流数字电压表 测量范围：0～199.9mv

灵敏度：100μv

准确度：0.2%（±2个字）

恒流源： 输出电流：DC 0.01～100mA 四档连续可调

量程：0.01～0.10mA, 0.10～1.0mA,1.0～10mA, 10～100mA

恒流精度：各档均不低于±0.05%

电源： AC 220V ± 10% ， 50HZ

功耗：功耗 10W ，平均功耗 8W

金属四探头电阻率方阻测试仪- 典型客户

江苏、浙江、广东、湖南湖北、内蒙古、河南等地的CZ直拉单晶及铸锭客户。