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防静电板优良的防静电功能可持续的时间一般在3-5年以上,据国外生产厂家介绍,国外的半导体工厂一般3-5年会更换防静电板,防静电板的表面电阻在3-5年后可能会逐步变化至7-9次方欧姆或更高一点;所以国外的半导体工厂为了保险起见,一般3-5年会更换防静电板。
第11年