广州市番禺区石基友连印刷厂（友光油墨）

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YB-8330液态感光涂布油墨（抗蚀刻）

操作工艺参数及注意事项

适用生产方式

YB-8330建议使用在内层细线路（水平涂布，及有回流循环系统之垂直涂布）。

YB-8330适用于酸必或碱性蚀刻液。YB-8320适用于自动曝光机。

生产环境条件

建议YB-8330油墨地在10000级无尘室中作业避免杂质。涂布和烘干段需在10000级环境中。无尘室温度需保持在22±2℃，湿度需保持在55±5%，需要在黄光下作业。

生产操作条件

1、前处理

YB-8330油墨可适用于化学清洁剂或机械刷磨制程，其选择关键在于让板面清洁和无铬残留，以下前处理清洁方式皆已经在其制程上测试完成，且可得到良好的效果。

化学清洁的三步骤：

A、酸性清洁剂（硫酸、草酸）

B、微蚀剂，微蚀速率20-40microinches

C、酸泡（溶解微蚀液中的盐类）

机械喷刷：

氧化铝和浮石粉刷磨制程可适用于YB-8330。酸性清洁剂则用于磨前除去板面铬化物

水洗：

烘干前后一道水洗需为去离子水，以确定板面没有盐类残留。适当的水洗和烘干可避免水痕残留于板面上。

2、阻剂的应用：

光阻剂搅拌：需在生产中搅拌

涂布方式：两面同时涂布

涂布温度：110-150℃

涂布速度：2.0-5.0m/min

涂布厚度：10±2um

3、烘干：

YB-8330有非常宽的烘烤范围。标准板面温度需达到110-140℃维持40s以上。其目的为去除溶剂让表面完全干燥。其烘烤方式为热风加IR。烘烤后厚度10±2um。

4、曝光：

5kw-7kw非平行光曝光机

解析度能力2mil线宽和线距

曝光强度10mw/ C㎡，建议需大于20mw/C㎡

能量约50-100mj/ C㎡

Stouffer Step保持在6-8格

使用21格之能量格数片

5、水溶性显影：

一般标准连线式喷淋显影设备

显影：

浓度：1.0±0.2%碳酸钠或酸钾

温度：30±2℃

喷压：上喷26-30psi，下喷20-25psi

停留时间：45-65s，40-60%显影点

PH>10.7

水洗：

水洗停留时间为显影时间的1倍或1.5倍或是50秒以上。

水洗压力：25-30psi

水洗温度：22±2℃

烘干：

烘干温度：50±2℃

备注：如果生产时板子直接进入蚀刻槽则不需要烘干

6 蚀刻：

YB-8330可用于酸性Cucl2蚀刻。

酸性蚀刻条件

氧化还原电位ORP-530MV±10MV

温度：50±2℃

铜离子含量：150g/I+1g/I

HCL浓度：2.5±0.5N

喷压：20-30psi

YB-8330可用于碱性蚀刻。

碱性蚀刻条件：

PH：8.2-8.8

温度：50±2℃

铜离子含量：150-180g/I

比重：1.2-1.225

喷压：20-30psi，

7 剥膜：

剥膜条件：

2-3%氢氧化钠

温度：45-55℃

喷压：30-40psi

剥膜时间：30-60秒

发泡形成：适量的消泡剂或许需要过滤

使用说明/注意事项

1、 滚涂

1）滚涂与烘烤条件

1.1滚涂膜厚与油墨及操作条件有关，建议干燥后膜厚8-12um，其影响膜厚的因素有：

油墨粘度越高，涂膜厚度越厚。

涂布滚轮间隙越大，涂膜厚度越厚。

油槽间隙越大，涂膜厚度越厚。

涂布轮转速越快，涂膜厚度越厚。

1.2设定适当的稀释剂自动添加频率与每次添加量使油墨粘度维持在适当粘度及涂膜厚度范围。

1.3适用于自动水平或垂直式自动滚涂机及手动单面滚涂机，烘烤温度与时间以使板温度到达110℃以上维持至少40秒以上，然后进行必要之冷却。

干燥条件可依膜厚及烤箱状况做适当调整，以上条件仅供参考。

干燥过度会引起显影不洁留下残渣（SCUM）干燥不足，涂膜带感压粘性，曝光时底片易粘油墨，显像时也会道致部分被洗除，无法进抗蚀刻与抗电镀。

2）注意事项

2.1涂布室必须保持干净，灰尘等会造成线路不良与困扰

2.2涂布作业必须在黄色灯光照明室内

2.3罐内有未倒尽油墨时，请随时盖好罐盖以防止粘度增高

2.4自动线滚涂机操作中因故停机或其他原因造成油墨粘度上升时请进行必要稀释，调整粘度或作粘度控制时，请用本公司指定的专用稀释剂

2、烘烤

自动烘烤型：以板面实际温度达到100-120℃，40秒以上

注意事项

1.1干燥条件可依膜厚及烤箱状况做适当调整，以上条件公供参考。

1.2干燥过度会导致后面显影响到时留下残渣。

1.3干燥不足涂膜呈粘性，曝光时底片易粘油墨，喧像时会部分被除，导致后面蚀刻时无法抗住蚀刻。